产品概述
YES–G1000对于清洁，剥离和表面改性，等离子体是有毒化学物质的有效替代品，并且在表面上没有残留溶剂。 副产物是惰性的并且对环境安全。
G1000的工作频率为13.56MHz，用户可以从5种等离子模式中进行选择。 各向异性模式包括RIE和有源离子阱； 各向同性模式包括下游（无电子），有源和下游离子阱。
•13.56 MHz的射频等离子体
•低压环境
•下游侵蚀性等离子体
•温度监控器
•3个气体输入
•气体输入可包含更多深奥气体，例如合成气，CF4和SF6
YES-等离子清洗系统 核心参数
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自动化: |
手动 |
样品腔尺寸: |
45.72*45.72*30.48 |
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样品腔容积: |
63.7 |
射频功率: |
550 |
